半導體製程設備-自動化系列

收料機

用途說明

接收前站機臺製程之產品進Buffer區等待,再由Lane Change手臂流道分配入Unloader M/G將製程產品收置完成。

 

特性說明

1.以Magazine方式收料,並可依產品帳料指定料盒收納。

2.操作簡便,親切的人機介面,並隨時監視運作情形。

3.可客制化人機介面及SECS GEM等功能。